原子力顯微鏡 項目是（深圳市財政委員會批復(fù)的高端人才科研啟動費）項目。

  設(shè)備主要用途是：原子力顯微鏡一種新型納米顯微技術(shù)，具有分辨率高、樣本制作方便等優(yōu)點。原子力顯微鏡的應(yīng)用范圍廣泛，它不僅可以在常溫大氣環(huán)境下測量樣品的表面微觀形貌，還可以測量樣品表面的物理、化學(xué)、機械、電子、生物等特性，拓展樣品縱向的深度信息，被譽為“開啟納米世界的鑰匙”，甚至可以在進(jìn)行納米微觀刻蝕。該設(shè)備在所屬項目中是作為聚合物刷圖案制備與表征的關(guān)鍵設(shè)備。

 

該設(shè)備項目預(yù)算為168萬。  

1）投標(biāo)人”系指響應(yīng)采購文件要求、參加本次招標(biāo)采購的供應(yīng)商。 (1) 投標(biāo)人必須是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)（以下簡稱“合格來源國/地區(qū)”）的法人或其他組織，在法律上和財務(wù)上獨立、合法運作并獨立于招標(biāo)人和招標(biāo)機構(gòu)，具有相關(guān)經(jīng)營范圍，有資格和能力提供本采購項目的貨物及服務(wù)的制造商或代理商（或經(jīng)銷商）。須提供營業(yè)執(zhí)照或企業(yè)注冊證明復(fù)印件（經(jīng)營范圍必須涵蓋本次招標(biāo)貨物，加蓋公章）。深圳大學(xué)是科教儀器設(shè)備減免稅單位，如果是境外供貨，投標(biāo)人應(yīng)有境外供貨與外幣結(jié)算資格或者是取得了境外供貨貿(mào)易商的投標(biāo)授權(quán)。 若投標(biāo)人按照合同提供的貨物不是投標(biāo)人自己制造的，投標(biāo)人應(yīng)得到貨物制造商同意其在本次投標(biāo)中提供該貨物的正式授權(quán)書原件或是合法代理商（若投標(biāo)人為合法代理商應(yīng)出具有效代理證明掃描件，制造商除外）。 （2）證明投標(biāo)人已具備履行合同所需的財務(wù)、技術(shù)和生產(chǎn)能力的文件。 （3）投標(biāo)人須提供設(shè)備在國內(nèi)的銷售業(yè)績表、合同復(fù)印件或中標(biāo)通知書復(fù)印件（表中應(yīng)列出設(shè)備的出廠日期、用戶名稱、地址、聯(lián)系人及聯(lián)系方式等） （4）參與國際招標(biāo)的投標(biāo)人必須在中國國際招標(biāo)網(wǎng)www.chinabidding.com 注冊成為會員，具有深圳市政府采購注冊供應(yīng)商資格。  
2）參與政府采購項目投標(biāo)的供應(yīng)商近三年內(nèi)無行賄犯罪記錄（由采購中心定期向市人民檢察院申請對政府采購供應(yīng)商庫中注冊有效的供應(yīng)商進(jìn)行集中查詢，投標(biāo)文件中無需提供證明材料）； 

   

1．采購貨物配置功能要求，各設(shè)備的主要技術(shù)參數(shù)、性能規(guī)格

技術(shù)指標(biāo)

Specifications

原子力顯微鏡主機

Atomic force microscope main unit

原子力顯微鏡的應(yīng)用范圍廣泛，可以在常溫大氣環(huán)境下測量樣品的表面微觀形貌，還可以測量樣品表面的物理、化學(xué)、機械、電子、生物等特性，拓展樣品縱向的深度信息。要求配備聚合物筆印刷功能

The atomic force microscopy has a wide range of applications, and can be used to measure the surface morphology of the samples under normal temperature and atmospheric environment. The physical, chemical, mechanical, electronic, biological and other characteristics of the sample surface can be measured, also expand the depth information of the sample. Required   polymer pen lithography function

1、 工作模式

Working mode

★1.1真正的非接觸式

True non-contact mode

1.2接觸式

Contact mode

1.3輕敲式

Tapping mode

1.4橫向力模式（LFM）

Lateral force mode

1.5力-距離曲線（F-D）

Force distance curve

1.6相位像

Phase image

★2、掃描器 Scanner

2.1閉環(huán)平板掃描器

Closed loop feedback scanner

2.2 XY掃描范圍：100um×100um

XY scan range: 100 × 100 μm

 2.3分辨率：閉環(huán)0.2nm，開環(huán)0.01nm

 Resolution:0.2 nm (closed-loop), < 0.01 nm (open-loop)

2.4 Z掃描范圍：12um，分辨率：0.001nm

Z Scan range: 12 μm, Resolution: 0.001nm

3、原子力顯微鏡頭部

AFM Head

3.1 聚焦波長：

830nm Focusing wavelength：830nm

3.2工作范圍：12um（噪音水平0.03nm）

Moving range：12um  (Noise level: 0.03 nm)

3.3 含：一個高伺服的撓性導(dǎo)向Z掃描器；一個夾裝探針的探針手；超亮二極管具有低相干性；預(yù)先對準(zhǔn)的卡片裝配，換探針時無需拿下頭部

Including: one high servo flexible steering Z scanner; one probe hand with a clamp probe; a super light diode with a low coherence; a pre aligned card assembly, without taking the head when changing the probe.

★4、聚合物筆印刷頭部

Polymer Pen Lithography Head

 4.1聚合物筆印刷功能描述：通過對被轉(zhuǎn)移材料的精確控制，可以在襯底表面構(gòu)造出任意的納米結(jié)構(gòu)，達(dá)到微/納米尺度加工精度。Polymer Pen Lithograph Function introduction: By the precise control of the transferred material,the structure can be constructed on the surface of the substrate to achieve the accuracy of micro / nano scale processing.

4.2工作范圍：25um

  Working range:25um

4.3 含：一個高伺服的撓性導(dǎo)向Z掃描器；PPL探針手，水平角度：0度；10個PPL探針架

  Including: one high servo flexible steering Z scanner; one PPL probe hand, horizontal angle: 0 degree; ten PPL probe carriages

5、輔助觀察系統(tǒng)

  Assistant observation system

5.1樣品和探針到成像部件的光路嚴(yán)格同軸

Top view of sample and probe by providing the natural on-axis view from the top with high clarity

5.2 放大倍數(shù)：300倍

  Magnification: 300

5.3 分辨率：1um

  Resolution: ~1 μm

5.4 可觀察區(qū)域：480 × 360 μm

Field of View: 480 × 360 μm

5.5自動聚焦臺的垂直行程：20mm

Vertical stroke of the auto focus table:20mm 

6、成像系統(tǒng)

Imaging system

6.1 高分辨率數(shù)字變焦可調(diào)視場成像部件

Uses high resolution digital imaging system

6.2 最大分辨率：2440*1830

  Effective Picture Elements: 2440 × 1830

6.3 視場：最大1680*1260 μm；最小550*412 μm

  Field of View: max: 1680 × 1260 μm ;min: 550 × 412 μm (variable)

7、XY自動高精度樣品臺

   XY Motorized XY Stage

★7.1 行程范圍：150mm×150mm

     Travels up to 150 mm × 150 mm in both X and Y direction

★7.2 樣品尺寸：150mm×150mm

     Sample size: Up to 150 × 150 mm

7.3 樣品厚度：20mm

   Sample thickness: Up to 20 mm thick

7.4 支撐重量：500g

    Working sample load: Up to 500 g

8、馬達(dá)控制Z方向樣品臺

   Motorized Z Stage

★8.1 Z方向行程：27.5um

     Z travel range: 27.5 mm

8.2 精度：0.1um

    resolution :0.1 μm

8.3 重復(fù)性：2um

   repeatability :2 μm

 

9、軟件

  Software

 9.1專用的系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)獲取軟件，實時調(diào)整反饋增益、設(shè)置點、驅(qū)動頻率／振幅／相位；AFM數(shù)據(jù)分析軟件可運行在Windows。

    XEP for data acquisition and optical view. XEI for  image processing, analysis, and presentation. AFM data analysis software can be run in Windows

★9.2 聚合物筆印刷軟件

     Software for Polymer Pen Lithography

 9.2.1支持筆畫類型：點、線、點陣、線列、圖案

     Pattern type: Point, Line, Array of dots, Array of lines, and Bitmap

9.2.2支持筆畫控制參數(shù)：

    Control windows for patterning parameters

點及點陣的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度；

Point & point array: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed

線及線列的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度、劃線速度；

Line & line array: Dwell time, Z extension/lift height, Z extension/lift speed, and Line speed

圖案每種顏色的停留時間、Z方向的伸長/提起距離、Z方向的伸長/提起速度；

Bitmap: Dwell time, Z extension/lift height, and Z extension/lift speed for each color value

9.2.3 用于調(diào)整樣品及針尖的水平系統(tǒng)

    Leveling system for sample/tip align

9.2.4 可以打開或保存為XML文件

    File format: XML

10、附件：標(biāo)準(zhǔn)光柵、10根接觸式探針和10根非接觸式探針、10個樣品臺

    Accessories: standard grating, 10 contact probes and 10 non-contact probes, 10 sample tables

原子力顯微鏡環(huán)境倉

Environmental Chamber (Glove Box) for AFM

1、 環(huán)境倉尺寸：完全包容原子力顯微鏡主機，控制整體氣氛

Box size: Fully inclusive of the atomic force microscopy main unit, control the overall atmosphere

2、 環(huán)境倉厚度：≧15mm

Box thick:≧15 mm

3、 環(huán)境倉材質(zhì)：亞克力材質(zhì)

Box material: acrylic

4、含：乳膠手套、進(jìn)樣室、氣體交換口

with latex gloves ,an Antechambe, electrical feed-throughs and gas exchange outlets

原子力顯微鏡濕度控制系統(tǒng)

Humidity Control System for  AFM

1、 作用：控制環(huán)境倉的濕度

Controls the humidity of the Glove Box option

2、 濕度控制范圍：從2到90%

Humidity control range: from 2 to 90 %

主動式減震臺

Integrated Active Vibration Isolation

1、 作用：通過電磁換能器的直接速度反饋的主動隔振，以消除地面振動。

Provides active vibration isolation with direct velocity feedback via electromagnetic transducers to cancel out the floor vibration.

2、 減震頻率：1.2~ 200HZ

Active 1.2 Hz to 200 Hz

標(biāo)準(zhǔn)隔音罩

Acoustic Enclosure  (Bottom Enclosure)

1、 作用：環(huán)境密封隔音罩，以阻止外部聲和噪音

Environmentally sealed acoustic enclosure to block external acoustic and light noise

2、 尺寸：820×920×1190毫米

Size: 820×920×1190mm

3、 含：大理石落地平臺

Including: Marble landing platform

 

 

序號	目錄	招標(biāo)商務(wù)需求
（一）免費保修期內(nèi)售后服務(wù)要求
1	免費保修期	產(chǎn)品全部驗收合格后（以技術(shù)驗收合格簽字為標(biāo)準(zhǔn)），供方向需方免費提供 1   年上門保修服務(wù)。免費保修期內(nèi)，所有貨物保修服務(wù)方式均為供方派員到用戶貨物使用現(xiàn)場進(jìn)行保修，保修期內(nèi)產(chǎn)生的一切費用均由供方承擔(dān)（含需要返原廠修理的所有費用）。供方如不能修理或不能調(diào)換，按產(chǎn)品原價賠償處理。 貨物的檢修期應(yīng)以雙倍計算延長免費保修期。 質(zhì)保期  1  年。保修承擔(dān)方為賣方，技術(shù)支持方為：生產(chǎn)商。   Warranty:one year
2	維修響應(yīng)及故障解決時間	1、 維修響應(yīng)時間：賣方應(yīng)在2小時內(nèi)對用戶的服務(wù)要求做出響應(yīng)，需要到現(xiàn)場的2個工作日內(nèi)到現(xiàn)場，重大問題或其他無法迅速解決的問題應(yīng)在一周內(nèi)解決或提出明確解決方案。 Response time: the seller should respond in 2 hours to the user's service request, if necessary,go to the spot in 2 working days, major issues or other problems can not be solved quickly, should be resolved within a week or a clear solution. 2、 售后服務(wù)支持方在深圳設(shè)立分公司，提供及時服務(wù)。 Service support should establish the branch companies in Shenzhen, to provide timely service.
……	其他	投標(biāo)人應(yīng)按其投標(biāo)文件中的承諾，進(jìn)行其他售后服務(wù)工作。
（三）其他商務(wù)要求
1	關(guān)于交貨	（1）合同簽訂后且免稅證明審批通過后 150  個日歷日內(nèi)交貨，產(chǎn)品的附件、備品備件及專用工具應(yīng)隨產(chǎn)品一同交付（以下幾種情況，交貨期經(jīng)雙方協(xié)商可以順延：對于研制設(shè)備，研制過程中出現(xiàn)特殊情況）； （2）交貨（具體）地點：    深圳大學(xué)
		1.2投標(biāo)人必須承擔(dān)的設(shè)備運輸、安裝調(diào)試、驗收檢測和提供設(shè)備操作說明書、圖紙等其他類似的義務(wù)。    1、 安裝調(diào)試：賣方負(fù)責(zé)將貨物送達(dá)到買方指定地點，在買方現(xiàn)場安裝、調(diào)試系統(tǒng)和培訓(xùn)。 Installation: the seller is responsible for the delivery of the goods to the buyer designated place, in the buyer on-site installation, commissioning and training system   1、 儀器到達(dá)用戶所在地后，在接到用戶通知后2周內(nèi)執(zhí)行安裝調(diào)試直至達(dá)到驗收指標(biāo)。 After the instrument to the user's location, in 2 weeks after receiving the user's notice to install and debug until the acceptance index. 2、 技術(shù)培訓(xùn)：不少于5個工作日；包括儀器的工作原理、操作規(guī)程、數(shù)據(jù)處理、基本維護(hù)等。 Technical training: not less than 5 working days; including the working principle of the instrument, operating procedures, data processing, basic maintenance, etc..
2	關(guān)于驗收	1.1投標(biāo)人貨物經(jīng)過雙方檢驗認(rèn)可后，簽署驗收報告，產(chǎn)品保修期自驗收合格之日起算，由投標(biāo)人提供產(chǎn)品保修文件。
		貨物抵達(dá)目的地后的檢驗程序和期限 貨物抵達(dá)交貨地點后，供方應(yīng)及時通知需方進(jìn)行收貨檢驗，需方接到通知后安排人員對貨物的外包裝完好性和外包裝標(biāo)示的品牌、型號、規(guī)格、數(shù)量是否符合要求進(jìn)行檢驗，并簽署相應(yīng)的收貨報告。 6．產(chǎn)品質(zhì)量要求標(biāo)準(zhǔn) （1）提供的貨物必須是合法廠家生產(chǎn)和經(jīng)銷的原包裝產(chǎn)品（包括零配件），必須具備生產(chǎn)日期、廠名、廠址、產(chǎn)品合格證等。 （2）需方在中國使用該貨物或貨物的任何一部分時，免受第三方提出的侵犯其專利權(quán)、商標(biāo)權(quán)或工業(yè)設(shè)計權(quán)等知識產(chǎn)權(quán)的起訴或司法干預(yù)。如果發(fā)生上述起訴或干預(yù)，則其法律責(zé)任均由供應(yīng)商負(fù)責(zé)。 7．安裝、調(diào)試和驗收標(biāo)準(zhǔn)、程序及期限 （1）供方應(yīng)委派技術(shù)人員進(jìn)行現(xiàn)場安裝、調(diào)試，并提供貨物安裝調(diào)試的一切技術(shù)支持。 安裝調(diào)試的具體時間由需方提前3天通知供方。 （2）驗收內(nèi)容包括但不限于：a. 型號、數(shù)量及外觀；b.貨物所附技術(shù)資料；c.貨物組件及配置；d.貨物功能、性能及各項技術(shù)參數(shù)指標(biāo)。 （3）供需雙方及相關(guān)單位共同進(jìn)行開箱檢驗。依據(jù)相關(guān)法律法規(guī)要求，邀請國家商檢部門進(jìn)行商檢的，商檢、檢疫費用由供方承擔(dān)。供方負(fù)責(zé)免費安裝、調(diào)試。安裝、調(diào)試完成后，由供需雙方組成驗收小組共同進(jìn)行技術(shù)驗收和商務(wù)驗收，驗收合格后簽署《驗收報告》。 產(chǎn)品質(zhì)量和安裝調(diào)試檢驗標(biāo)準(zhǔn)遵照前述標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。 （4）驗收中如發(fā)現(xiàn)有質(zhì)量不合格或型號規(guī)格、數(shù)量等與送貨清單不符等情況，供方應(yīng)免費更換或補齊，并承擔(dān)因更換或補齊貨物所發(fā)生的進(jìn)、出口環(huán)節(jié)綜合費用和代理費用以及違約責(zé)任。
……
……
……

備注：

1. “（一）免費保修期內(nèi)售后服務(wù)要求”部分，請詳細(xì)列明免費保修期內(nèi)的售后服務(wù)要求，內(nèi)容包括但不限于免費保修期限、售后服務(wù)人員配備、技術(shù)培訓(xùn)方案、質(zhì)量保證、違約承諾、維修響應(yīng)及故障解決時間、方案等。

2. “（二）免費保修期外售后服務(wù)要求”部分，請詳細(xì)列明免費保修期外的售后服務(wù)要求，內(nèi)容包括但不限于零配件的優(yōu)惠率、維修響應(yīng)及故障解決時間、方案、提供的服務(wù)等。

3. “（三）其他商務(wù)要求”部分，如有補充，請詳細(xì)列明。

 

  

序號	貨物名稱	招標(biāo)技術(shù)要求	投標(biāo)技術(shù)響應(yīng)	偏離情況	說明

 

  

序號	目錄	招標(biāo)商務(wù)條款	投標(biāo)商務(wù)條款	偏離情況	說明
（一）免費保修期內(nèi)售后服務(wù)條款偏離表
1
2
……
（一）免費保修期外售后服務(wù)條款偏離表
1
2
……
（三）其他商務(wù)條款偏離表
1
2
……

 

   

評標(biāo)信息

序號	評分項				權(quán)重
1	價格				30
2	技術(shù)部分				53
	序號	評分因素	權(quán)重	評分方式	評分準(zhǔn)則
	1	技術(shù)保障措施	10	專家打分	在投標(biāo)文件中詳細(xì)說明是否有成熟的PPL功能模塊并提供應(yīng)用資料，評審委員會根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行橫向比較，按有或優(yōu)100分，良80分，中60分，差0分打分。
	2	技術(shù)規(guī)格偏離情況	43	專家打分	1. 投標(biāo)人應(yīng)如實填寫《技術(shù)規(guī)格偏離表》，評審委員會根據(jù)技術(shù)需求參數(shù)響應(yīng)情況進(jìn)行打分，各項技術(shù)參數(shù)指標(biāo)及要求全部滿足的得100分，每負(fù)偏離一項（重要條款）扣10分普通條款扣5分。
3	商務(wù)需求				9
	序號	評分因素	權(quán)重	評分方式	評分準(zhǔn)則
	1	免費保修期內(nèi)售后服務(wù)條款偏離情況	6	專家評分	投標(biāo)人應(yīng)如實填寫《免費保修期內(nèi)售后服務(wù)條款偏離表》，評審委員會根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行打分，全部滿足要求的得100分，每負(fù)偏離一項扣50分。
	2	資質(zhì)要求及其他商務(wù)需求	3	專家評分	投標(biāo)人應(yīng)如實填寫《其他商務(wù)條款偏離表》，評審委員會根據(jù)響應(yīng)情況進(jìn)行打分，全部滿足要求的得100分，每負(fù)偏離一項扣30分。
4		綜合實力部分			8
	序號	評分因素	權(quán)重	評分方式	評分準(zhǔn)則
	1	投標(biāo)人近三年同類業(yè)績	3	專家評分	提供3個同類業(yè)績即得滿分，提供2個得60分，提供1個得30分，未提供的不得分。投標(biāo)人必須在投標(biāo)文件中提供每一個完工項目的合同和驗收報告，否則不得分
	2	誠信	5	專家評分	根據(jù)《深圳市財政委員會關(guān)于加強招投標(biāo)評審環(huán)節(jié)誠信管理的通知》（深財購[2013]27號）的要求，投標(biāo)人在參與政府采購活動中存在誠信相關(guān)問題的，本項不得分，未出現(xiàn)相關(guān)誠信問題的得滿分。以深圳市政府采購履約評價庫和政府采購行政處罰記錄中的資料為準(zhǔn)。履約評價無差評且沒有處罰記錄的得100分，有差評的或有處罰記錄得0分。投標(biāo)人無需提供任何證明材料，由采購中心工作人員向評委會提供相關(guān)信息。